GB/T 13389-1992
Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором и фосфором. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 13389-1992
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1992
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2015-09
- быть заменен
- GB/T 13389-2014
- Последняя версия
- GB/T 13389-2014
- сфера применения
- Этот стандарт определяет метод преобразования между удельным сопротивлением монокристалла кремния, легированного бором и фосфором, и концентрацией легирующей примеси при 23 ° C. Настоящий стандарт распространяется на монокристаллы кремния, легированного бором, с концентрацией легирующей примеси 1012～1021см-3 (удельное сопротивление 0,0001～10000Ом·см) и 1012～5×1020см-3 (удельное сопротивление 0,0002～4000Ом·см). Удельное сопротивление монокристалла легированного кремния и концентрацию легирующей примеси также можно распространить на активацию кремния. Другие легирующие примеси, подобные бору и фосфору.
GB/T 13389-1992 История
- 2014 GB/T 13389-2014 Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором, фосфором и мышьяком.
- 1992 GB/T 13389-1992 Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором и фосфором.
