ASTM F1723-96
Стандартная практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом выращивания кристаллов в плавающей зоне и спектроскопии
- Стандартный №
- ASTM F1723-96
- Дата публикации
- 1996
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1723-02
- Последняя версия
- ASTM F1723-02
- сфера применения
- 1.1 В данной методике рекомендуются процедуры отбора проб стержней поликристаллического кремния и выращивания из этих образцов монокристаллов методом флотационной зоны. Полученные монокристаллические слитки анализируются спектрофотометрическими методами на определение микропримесей в поликремнии. Этими следовыми примесями являются акцепторные (обычно бор или алюминий, или и то, и другое), донорные (обычно фосфор или мышьяк, или и то, и другое) и углеродные примеси. ppba) для акцепторных и донорных примесей и от 0,05 до 5 частей/миллион атомных (ppma) для примеси углерода. Эти примеси анализируются в образцах слитков с помощью инфракрасной или фотолюминесцентной спектроскопии.1.3 Этот метод применим только для оценки слитков поликремния, выращенных методом, в котором используется тонкий кремниевый стержень (нить), на который наносится поликристаллический кремний.1.4 В этом методе используется горячий кислоту для травления поверхности поликремниевого стержня. Травитель потенциально вреден, и с ним необходимо всегда обращаться в вытяжном шкафу для кислотных вытяжек с особой осторожностью. Растворы плавиковой кислоты особенно опасны и не должны использоваться лицами, не знакомыми со специфическими профилактическими мерами и методами оказания первой помощи, указанными в соответствующем паспорте безопасности материала. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если любые, связанные с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1723-96 Ссылочный документ
- ASTM D5127 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности*， 1999-11-10 Обновление
- ASTM F1241
- ASTM F1389
- ASTM F1391
- ASTM F1630
- ASTM F26
- ASTM F397 Стандартный метод определения удельного сопротивления кремниевых стержней с использованием двухточечного зонда
- ASTM F47
- ASTM F723
ASTM F1723-96 История
- 1970 ASTM F1723-02
- 1996 ASTM F1723-96 Стандартная практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом выращивания кристаллов в плавающей зоне и спектроскопии
