ASTM F723-99
- Стандартный №
- ASTM F723-99
- Дата публикации
- 1970
- Разместил
- /
- Последняя версия
- ASTM F723-99
- сфера применения
- 1.1 Этот метод 3 описывает преобразование между плотностью легирующей примеси и удельным сопротивлением для монокристаллического кремния, легированного мышьяком, бором и фосфором, при 23°C. Преобразования основаны в первую очередь на данных Тербера и др. (1), (2), (3)3, взятых для объемного монокристаллического кремния со значениями плотности легирующей примеси в диапазоне от 3 3 1013 см-3 до 1 3 1020 см-3. 3 для кремния, легированного фосфором, и в диапазоне от 1014 см–3 до 1 3 1020 см–3 для кремния, легированного бором. База данных по фосфору была дополнена следующим образом: две точки данных для объемных образцов Эсаки и Мияхара (4) и одна точка данных для рассеянных образцов Фэйра и Цая (5) были использованы для расширения базы данных выше 1020 см-3, и мнимая точка была добавлена при 1012 см-3 для улучшения качества преобразования при низких значениях плотности примеси. Преобразование мышьяка, отличное от преобразования фосфора, представлено для диапазона от 1019 до 6 на 1020 см-3. 1.2 Самосогласованность преобразования (сопротивления в плотность примеси и плотности примеси в удельное сопротивление) (см. приложение Х1) находится в пределах 3 % для бора от 0,0001 до 10 000 В·см, (от 10 12 до 1021 см-3) и в пределах 4,5 % для фосфора от 0,0002 до 4000 В·см (от 1012 до 5 3 10 20 см-3). Эта ошибка быстро возрастает, если преобразования фосфора используются для плотностей выше 5 3 1020 см-3. 1.3 Эти преобразования основаны на данных по бору и фосфору. Их можно распространить на другие примеси кремния, имеющие аналогичную энергию активации; хотя точность преобразований для других примесей не установлена, ожидается, что данные по фосфору будут удовлетворительными для использования с мышьяком и сурьмой, за исключением случаев, когда они приближаются к растворимости в твердом состоянии (см. 6.3). 1.4 Эти преобразования происходят между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси, и их не следует путать с преобразованиями между удельным сопротивлением и плотностью носителей или с соотношениями подвижности. ПРИМЕЧАНИЕ 1 — Обычно используемое преобразование между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси, составленное Ирвином (6), сравнивается с этим преобразованием в Приложении X2. В этой подборке Ирвин использовал термин «концентрация примеси» вместо термина «плотность легирующей примеси». 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F723-99 Ссылочный документ
ASTM F723-99 История
- 1970 ASTM F723-99
