ASTM F84-99
- Стандартный №
- ASTM F84-99
- Дата публикации
- 1970
- Разместил
- /
- состояние
- быть заменен
- ASTM F84-02
- Последняя версия
- ASTM F84-02
- сфера применения
- 1.1 Этот метод испытаний 2 охватывает измерение удельного сопротивления кремниевых пластин с помощью встроенного четырехточечного зонда. Удельное сопротивление кристалла кремния является важным требованием к приемке материалов. Этот метод испытаний описывает процедуру, которая позволит проводить межлабораторные сравнения удельного сопротивления кремниевых пластин при комнатной температуре. Ожидаемая точность зависит как от удельного сопротивления пластины, так и от ее однородности. Были проведены циклические испытания для установления ожидаемой точности измерений на пластинах p-типа с удельным сопротивлением при комнатной температуре (23°C) от 0,0008 до 2000 В·см и на пластинах n-типа с комнатной температурой (23°C). удельное сопротивление от 0,0008 до 6000 В·см. 1.2 Настоящий метод испытаний предназначен для использования на монокристаллах кремния в виде круглых пластин диаметром более 16 мм (0,625 дюйма) и толщиной менее 1,6 мм (0,0625 дюйма). Геометрические поправочные коэффициенты, необходимые для этих измерений, доступны в табличной форме. 3 1.3 Настоящий метод испытаний следует использовать в качестве ориентировочного метода для определения удельного сопротивления пластин монокристаллического кремния, а не методу испытаний F 43. ПРИМЕЧАНИЕ 1. Этот метод испытаний также применим к другим полупроводниковым материалам, но не к соответствующим условиям измерения. ни ожидаемая точность не была определена экспериментально. Другие геометрические параметры, для которых отсутствуют поправочные коэффициенты, также могут быть измерены этим методом испытаний, но в таких ситуациях следует проводить только сравнительные измерения с использованием аналогичных геометрических условий. ПРИМЕЧАНИЕ 2 – DIN 50431 2 представляет собой аналогичный, но не эквивалентный метод определения удельного сопротивления. Он эквивалентен методам испытаний F 43. 1.4 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 8.
ASTM F84-99 Ссылочный документ
- ASTM D1193 Стандартные спецификации для реагентной воды*， 1999-10-27 Обновление
- ASTM E1 Стандартные спецификации для термометров ASTM*， 1998-10-27 Обновление
- ASTM E177 Стандартная практика использования терминов «точность» и «предвзятость» в методах испытаний ASTM*， 1990-10-27 Обновление
- ASTM F42 Стандартные методы испытаний типа проводимости внешних полупроводниковых материалов*， 1993-10-27 Обновление
- ASTM F43
- ASTM F613
ASTM F84-99 История
- 1970 ASTM F84-02
- 1970 ASTM F84-99
