ASTM F43-99

Стандартный №

ASTM F43-99

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F43-99

сфера применения

1.1 Удельное сопротивление полупроводникового материала является важным требованием приемки материалов. Определения удельного сопротивления, проводимые во время изготовления устройств, также широко используются в целях контроля качества. 1.2 Данные методы испытаний 2 охватывают две процедуры, которые широко используются для проведения рутинных измерений. Эти процедуры применимы непосредственно как к кремнию, так и к германию. Применение этих процедур к другим полупроводниковым материалам может потребовать использования другого материала зонда и крепления зонда. 1.2.1 Метод А, двухзондовый. Для этого метода испытаний требуется образец стержня измеряемого поперечного сечения с размерами поперечного сечения, малыми по сравнению с длиной стержня. Для материалов, для которых не разработан специальный метод оценки ASTM, рекомендуется использовать этот метод испытаний в целях приемки материалов. 1.2.2 Метод B, четырехзондовый. Этот метод испытаний является быстрым и не требует образца регулярного поперечного сечения. Этот метод испытаний можно использовать на образцах неправильной формы при условии, что для контактных зондов имеется плоская область. Как описано в настоящем стандарте, этот метод испытаний применим только к таким образцам, у которых толщина образца и расстояние от любой точки датчика до ближайшего края как минимум в четыре раза превышают расстояние между датчиками (примечание 1). Для особых случаев образцов круглого сечения толщиной более одного, но менее четырех раз больше расстояния между зондами, измерения данным методом испытаний возможны; необходимое применение приближенных геометрических поправок приведет к повышению точности (см. 9.1.3). 1.2.3 Как правило, измерения удельного сопротивления наиболее надежны, когда они выполняются на монокристаллах, поскольку в таком материале локальные изменения примесей, влияющие на удельное сопротивление, менее значительны. Локальная сегрегация примесей на границах зерен в поликристаллическом материале может привести к большим изменениям удельного сопротивления. Такие эффекты являются общими для любого из методов измерения, но более выражены при четырехзондовом методе испытаний, поэтому его использование не рекомендуется для поликристаллических материалов. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда, а также определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F43-99 Ссылочный документ

• ASTM F374 
• ASTM F397 Стандартный метод определения удельного сопротивления кремниевых стержней с использованием двухточечного зонда*， 1993-10-26 Обновление
• ASTM F533 Стандартный метод испытаний толщины и изменения толщины кремниевых пластин*， 1996-10-26 Обновление
• ASTM F613 
• ASTM F76 Стандартные методы измерения удельного сопротивления, коэффициента Холла и определения холловской подвижности в монокристаллических полупроводниках*， 1986-10-26 Обновление
• ASTM F84 

ASTM F43-99 История

• 1970 ASTM F43-99