1.1 Настоящий метод испытаний охватывает измерение толщины кремниевых пластин, полированных или неполированных, и оценку изменения толщины поперек пластины. 1.2 Этот метод испытаний предназначен в первую очередь для использования с пластинами, которые соответствуют требованиям к размерам и допускам, указанным в спецификациях SEMI M1. Однако его можно применять к круглым кремниевым пластинам или подложкам любого диаметра и толщины, с которыми можно обращаться, не ломая их. 1.3 Этот метод испытаний подходит как для контактного, так и для бесконтактного измерительного оборудования. Для каждого из них установлены прецизионные характеристики. 1.4 Значения, указанные в единицах измерения дюйм-фунт, следует рассматривать как стандартные. Значения в скобках предназначены только для информации. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.