ASTM F397-93(1999)
Стандартный метод определения удельного сопротивления кремниевых стержней с использованием двухточечного зонда
- Стандартный №
- ASTM F397-93(1999)
- Дата публикации
- 1993
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F397-02
- Последняя версия
- ASTM F397-02
- сфера применения
- 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает измерение удельного сопротивления монокристаллических брусков, имеющих однородную по площади поперечное сечение, квадратную, прямоугольную или круглую форму и удельное сопротивление от 0,0009 до 3000 омега см. Удельное сопротивление кристалла кремния является важным требованием приемки. 1.2 Этот метод испытаний предназначен для использования на монокристаллах кремния n- или p-типа, для которых однородность поперечного сечения кристалла такова, что площадь можно точно рассчитать. Площадь поперечного сечения образца должна быть постоянной с точностью до +1 % от средней площади, определенной измерениями вдоль оси кристалла (см. 12.2). 1.3 Отношение длины к максимальному размеру поперечного сечения образца должно быть не менее 3:1 (см. 12.1). Наибольший диаметр, проверенный методом циклического анализа, составил 3,75 см (1,5 дюйма), и это наибольший диаметр, который можно измерить этим методом. Образец обычно должен иметь шероховатость поверхности 0,4 мкм (16 мкм) или менее (см. ANSI B46). Если это взаимно приемлемо, могут использоваться другие виды отделки поверхности; однако в этом случае показатели многолабораторной прецизионности этого испытания (см. 16.1) могут оказаться неприменимыми. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 9.
ASTM F397-93(1999) Ссылочный документ
- ASTM D1193 Стандартные спецификации для реагентной воды*， 1999-11-10 Обновление
- ASTM E1 Стандартные спецификации для термометров ASTM*， 1998-11-10 Обновление
- ASTM F42 Стандартные методы испытаний типа проводимости внешних полупроводниковых материалов
ASTM F397-93(1999) История
- 1970 ASTM F397-02
- 1993 ASTM F397-93(1999) Стандартный метод определения удельного сопротивления кремниевых стержней с использованием двухточечного зонда
