ASTM F42-93(1997)
Стандартные методы испытаний типа проводимости внешних полупроводниковых материалов

Стандартный №

ASTM F42-93(1997)

Дата публикации

1993

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F42-02

Последняя версия

ASTM F42-02

сфера применения

1.1 Настоящие методы испытаний охватывают определение типа проводимости внешних полупроводников. Хотя подробные сведения даны для германия и кремния, включение других примесей, таких как арсенид галлия и антимонид индия, должно быть возможным. Однако применимость последних соединений не была официально подтверждена циклическими испытаниями. Наиболее достоверно определения можно проводить на однородном сыпучем материале, однако эти методы испытаний можно использовать и для картирования областей различного типа проводимости на поверхности неоднородных образцов. Эти методы испытаний не тестировались на слоистых структурах, таких как эпитаксиальные слои. Измерения на этих структурах могут дать ошибочные указания о типе проводимости. 1.2 Описаны четыре метода испытаний: 1.2.1 Метод испытаний А – испытание на проводимость термоЭДС с горячим зондом. 1.2.2 Метод испытаний B – испытание на проводимость термоЭДС с холодным зондом. 1.2.3 Метод испытаний C – испытание на проводимость с точечным выпрямлением. 1.2.4 Метод испытаний D-Тип-Все системы работают в двух режимах: 1.2.4.1 Испытание типа выпрямляющей проводимости. 1.2.4.2 Испытание на проводимость термоЭДС. 1.3 Опыт показал, что метод испытаний А (горячий зонд) дает надежные результаты для кремния n- и p-типа, имеющего удельное сопротивление при комнатной температуре до 1000 омега-см. Примечание 1. Удельное сопротивление образцов германия можно измерять в соответствии с методами испытаний F43, а удельное сопротивление пластинок кремния можно измерять в соответствии с методами испытаний F43 или F84. 1.4 Метод испытаний В (холодный зонд) дает надежные результаты для германия n- и p-типа, имеющего удельное сопротивление при комнатной температуре 20 омега-см или менее, а также для кремния n- и p-типа, имеющего удельное сопротивление до 1000 [омега][точка] см (Примечание 1). Этот метод имеет преимущество перед методом испытания горячим зондом в том, что амплитуду сигнала можно увеличить за счет увеличения разницы температур между двумя зондами. 1.5 Метод испытаний C (выпрямление) представляет собой простой и удобный метод, который дает надежные результаты для кремния n- и p-типа с удельным сопротивлением при комнатной температуре от 1 до 1000 омега-см. Этот метод испытаний не рекомендуется для германия (примечание 1). 1.6 Метод испытаний D (режим выпрямления всех типов) подходит для использования на кремнии n- и p-типа, имеющем удельное сопротивление при комнатной температуре от 0,1 до 1000 омега-см включительно (примечание 1). 1.7 Метод испытаний D (режим термоЭДС всех типов) подходит для использования на кремнии n- и p-типа, имеющем удельное сопротивление при комнатной температуре от 0,002 до 0,1 омега-см включительно (примечание 1). 1.8 Эти методы испытаний могут применяться за пределами, указанными выше, но их пригодность за этими пределами не была проверена экспериментально. 1.9 Если с использованием этих методов испытаний невозможно получить удовлетворительные результаты, рекомендуется определять тип проводимости на основе измерений эффекта Холла, как описано в Методах испытаний F76. Примечание 2-DIN 50432 охватывает технические эквиваленты методов испытаний A и C этих методов испытаний, но не включает методы испытаний B и D. 1.10 Настоящий стандарт не претендует на рассмотрение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. . Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F42-93(1997) Ссылочный документ

• ASTM D1125  Стандартные методы испытаний электропроводности и удельного сопротивления воды*， 1995-11-09 Обновление
• ASTM F43 
• ASTM F76 Стандартные методы измерения удельного сопротивления, коэффициента Холла и определения холловской подвижности в монокристаллических полупроводниках
• ASTM F84 

ASTM F42-93(1997) История

• 1970 ASTM F42-02
• 1993 ASTM F42-93(1997) Стандартные методы испытаний типа проводимости внешних полупроводниковых материалов