ASTM F47-94

Стандартный №

ASTM F47-94

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F47-94

сфера применения

1.1 Этот метод испытаний2 используется для определения того, имеет ли слиток или кусок кремния монокристаллическую структуру, и если да, то для определения плотности возможных дислокаций. Также могут быть очерчены завитки и полосы. Эти дефекты кристаллов описаны для того, чтобы избежать путаницы при подсчете ямок травления дислокаций. ПРИМЕЧАНИЕ 1. Метод испытаний F416, хотя и разрушающий, предпочтителен для обнаружения дефектов, вызванных окислением. 1.2 Эта процедура подходит для кристаллов кремния с плотностью дислокаций от 0 до 100 000 см-*. 1.3. Могут быть оценены кристаллы кремния, легированные либо p-, либо n-типом, с удельным сопротивлением всего 0,005 см/см. Этот метод испытаний применим для оценки кристаллов кремния, выращенных в направлении [11i] или [1001]. 1.4 В этом методе испытаний используется предпочтительное химическое травление для выявления кристаллографических дефектов. В комплект поставки входят два травителя: травление Сиртла для кремния [11i] (9.4.1) и травление Шиммеля для кремния [1001] (9.4.2). Хотя использование метода травления Сиртля ограничено кремнием [11i], травление Шиммеля можно использовать для кристаллов кремния, выращенных как в направлениях [1001, так и в [11]]. ПРИМЕЧАНИЕ 2-DIN 50434 отличается от этого метода испытаний тем, что он не включает процедуры для кремния (100), обеспечивает четырехзначную числовую классификацию качества поверхности и использует немного другую процедуру для подсчета количества дислокаций. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда, а также определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Особая опасность __ Этот метод испытаний находится в ведении комитета ASTM F-1 по электронике и прямой ответственности подкомитета F01.06 по кремниевым материалам и контролю процессов. Текущее издание утверждено 15 июля 1994 г. Опубликовано в сентябре 1994 г. Первоначально опубликовано как F 47 64 T. Последнее предыдущее издание F 47 88. 2DIN 50434 является эквивалентным методом. За это отвечает комитет DIN NMP 221, с которым комитет F-1 поддерживает тесную техническую связь. Стандарт DIN 50434 «Испытание неорганических полупроводниковых материалов: определение кристаллических дефектов образцов монокристаллического кремния на травленых поверхностях» можно получить в компании Beuth Verlag GmbH Burggrafenstrasse 4-10, DI000 Berlin 30, Федеративная Республика Германия (см. также том 10.05). и характеристики опасности приведены в разделе 10.

ASTM F47-94 Ссылочный документ

• ASTM D1 
• ASTM E7 Стандартная терминология, относящаяся к металлографии*， 2022-10-01 Обновление
• ASTM F26 
• ASTM F416 

ASTM F47-94 История

• 1970 ASTM F47-94