General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 30858-2014
сфера применения
Настоящий стандарт определяет требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортировку, хранение, сертификат качества и содержание заказа на поставку (или контракта) монокристаллических подложек из полированного сапфира. Настоящий стандарт распространяется на односторонне полированные сапфировые подложки (далее - сапфировые подложки).
GB/T 30858-2014 Ссылочный документ
GB/T 1031 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Метод профиля. Параметры шероховатости поверхности и их значения.
GB/T 13387 Метод испытаний для измерения плоских пластин кремния и других электронных материалов
GB/T 14140 Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*, 2023-08-06 Обновление
GB/T 19921 Метод испытания частиц на полированных поверхностях кремниевых пластин*, 2018-12-28 Обновление
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)
GB/T 30857 Стандартный метод испытаний толщины и изменений толщины сапфировых подложек
GB/T 6619 Метод испытаний дуги из кремниевых пластин
GB/T 6620 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
GB/T 6624 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля
GB/T 30858-2014 История
2014GB/T 30858-2014 Подложка из полированного монокристаллического сапфира