General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 30857-2014
сфера применения
Настоящий стандарт определяет метод испытаний на предмет соответствия толщины и изменения толщины монокристаллических пластин сапфира для резки, шлифовки и полировки (называемых пластинами-подложками) для изготовления тонкопленочных эпитаксиальных пластин нитрида галлия и других целей стандартным предельным требованиям. Настоящий стандарт распространяется на испытания толщины и вариаций толщины сапфировых подложек.
GB/T 30857-2014 Ссылочный документ
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 30857-2014 История
2014GB/T 30857-2014 Стандартный метод испытаний толщины и изменений толщины сапфировых подложек