Этот стандарт определяет требования, методы испытаний, правила проверки, маркировку, упаковку, транспортировку и хранение керамических подложек из оксида алюминия для тонкопленочных интегральных схем. Настоящий стандарт распространяется на производство и закупку подложек из оксида алюминия для тонкопленочных интегральных схем (далее именуемых «подложки»), а подложки из керамики на основе оксида алюминия для компонентов микросхем, использующих тонкопленочную технологию, также могут использоваться в качестве эталона.
GB/T 14620-2013 Ссылочный документ
GB/T 14619-2013 Керамические подложки из оксида алюминия для толстопленочных интегральных схем
GB/T 16534-2009 Тонкая керамика (усовершенствованная керамика,усовершенствованная техническая керамика). Метод определения твердости монолитной керамики при комнатной температуре.
GB/T 2413 Пьезоэлектрические керамические материалы. Методы измерения объема и плотности.
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)
GB/T 2829 Процедуры и таблицы отбора проб для периодической проверки по признакам (применяются для проверки стабильности процесса)
GB/T 5593 Структурные керамические материалы, используемые в электронных компонентах и устройствах*, 2015-05-15 Обновление
GB/T 5594.3 Методы испытаний свойств структурной керамики, используемой в электронных компонентах и устройствах. Часть 3: Метод испытания среднего коэффициента линейного расширения.*, 2015-05-15 Обновление
GB/T 5594.4 Методы испытаний свойств структурной керамики, используемой в электронных компонентах и устройствах. Часть 4: Метод испытаний диэлектрической проницаемости и значения тангенса угла диэлектрических потерь.*, 2015-05-15 Обновление
GB/T 5594.5 Методы испытаний свойств структурной керамики, используемой в электронных компонентах. Метод испытания объемного удельного сопротивления.
GB/T 5594.7 Методы испытаний свойств структурной керамики, используемой в электронных компонентах и устройствах. Часть 7: Метод испытания на проницаемость для жидкостей.*, 2015-05-15 Обновление
GB/T 5598 Метод испытания теплопроводности керамики из оксида бериллия*, 2015-05-15 Обновление