Этот стандарт определяет структурные размеры, технические требования, методы испытаний, правила проверки, знаки, упаковку, транспортировку и хранение глиноземных керамических подложек для тонкопленочных интегральных схем. Настоящий стандарт распространяется на керамические подложки из оксида алюминия (далее называемые подложками) для тонкопленочных интегральных схем.
GB/T 14620-1993 История
2013GB/T 14620-2013 Керамические подложки из оксида алюминия для тонкопленочных интегральных схем
1993GB/T 14620-1993 Керамические подложки из оксида алюминия для тонкопленочных интегральных схем