ASTM F672-88(1995)e1
Стандартный метод испытаний для измерения профилей удельного сопротивления перпендикулярно поверхности кремниевой пластины с использованием зонда сопротивления растеканию

Стандартный №

ASTM F672-88(1995)e1

Дата публикации

1988

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F672-01

Последняя версия

ASTM F672-01

сфера применения

1.1 Настоящий метод испытаний охватывает измерение профиля удельного сопротивления перпендикулярно поверхности кремниевой пластины известной ориентации и типа. Примечание 1. Этот метод испытаний также может быть применим к другим полупроводниковым материалам, но его осуществимость и точность оценивались только для кремния и германия. 1.2 Этот метод испытаний можно использовать на эпитаксиальных пленках, подложках, диффузных слоях или слоях, имплантированных ионами. или любую их комбинацию.1.3 Этот метод испытаний является сравнительным в том смысле, что профиль удельного сопротивления неизвестного образца определяется путем сравнения его измеренного значения сопротивления растеканию с калибровочными стандартами известного удельного сопротивления. Эти калибровочные стандарты должны иметь ту же подготовку поверхности, тип проводимости и кристаллографическую ориентацию, что и неизвестный образец. 1.4 Этот метод испытаний предназначен для использования на кремниевых пластинах в любом диапазоне удельного сопротивления, для которого существуют подходящие стандарты. Могут использоваться полированные, притертые или шлифованные поверхности. 1.5 Этот метод испытаний является разрушительным, поскольку образец должен быть скошен. 1.6 Перед использованием калибровки необходимы поправочные коэффициенты, которые учитывают влияние границ или локальные изменения удельного сопротивления с глубиной. данные для расчета удельного сопротивления по значениям сопротивления растеканию. Примечание 2. Этот метод испытаний расширяет метод F525 для определения профиля глубины. Примечание 3. Этот метод испытаний обеспечивает средства для непосредственного определения профиля удельного сопротивления образца кремния, перпендикулярного поверхности образца. В отличие от методов испытаний F84, F374, F1392 и F1393, он может обеспечить поперечное пространственное разрешение удельного сопротивления порядка нескольких микрометров и углубленное пространственное разрешение порядка 10 нм (100 А). Этот метод испытаний можно использовать для профилирования pn-переходов. 1.7. Этот метод испытаний представляет собой, прежде всего, измерение для определения профиля удельного сопротивления кремниевой пластины. Однако общепринятой практикой является преобразование информации о профиле удельного сопротивления в профиль плотности. Для таких целей преобразование между удельным сопротивлением и плотностью основных несущих предусмотрено в Приложении X2.1.8. Этот стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 9.

ASTM F672-88(1995)e1 Ссылочный документ

• ASTM D1125  Стандартные методы испытаний электропроводности и удельного сопротивления воды*， 1995-11-09 Обновление
• ASTM E1 Стандартные спецификации для термометров ASTM*， 1998-11-09 Обновление
• ASTM F26 
• ASTM F374 
• ASTM F419 
• ASTM F42 Стандартные методы испытаний типа проводимости внешних полупроводниковых материалов*， 1993-11-09 Обновление
• ASTM F525 
• ASTM F674 
• ASTM F723 
• ASTM F84 

ASTM F672-88(1995)e1 История

• 1970 ASTM F672-01
• 1988 ASTM F672-88(1995)e1 Стандартный метод испытаний для измерения профилей удельного сопротивления перпендикулярно поверхности кремниевой пластины с использованием зонда сопротивления растеканию