ASTM F419-94
- Стандартный №
- ASTM F419-94
- Дата публикации
- 1970
- Разместил
- /
- Последняя версия
- ASTM F419-94
- сфера применения
- 1.1 Данный метод испытаний охватывает измерение плотности носителей заряда в эпитаксиальных слоях кремния. Ожидаемая точность зависит от неоднородностей плотности носителей, параллельных и перпендикулярных переходу, а также от уровня плотности носителей. 1.2. Измерение требует создания диодов Шоттки или pn-перехода на эпитаксиальном слое или в нем. В этом смысле метод деструктивен (см., однако, 5.2). 1.3 Эпитаксиальные слои как n, так и p-типа могут быть оценены на подложках одного и того же или противоположного типа, если толщина слоя более чем в два раза превышает ширину истощения при нулевом смещении плюс, только для диффузионных диодов, глубину перехода (1). 2 Этот метод испытаний также применим к сыпучим материалам. 1.4 Данный метод испытаний охватывает диапазон плотности носителей от примерно 4 3 10 13 до примерно 8 3 10 16 носителей/см3 (диапазон удельного сопротивления примерно от 0,1 до примерно 100 В·см в пластинах n-типа и от примерно 0,24 до примерно 330 В·см). в пластинах p-типа). 1.5 Настоящий метод испытаний включает процедуры проверки как емкости, так и оборудования для измерения напряжения. 1.6 Настоящий метод испытаний предусматривает два способа расчета плотности носителей по данным напряжения-емкости: метод приращений (12.3.1) и метод аппроксимации кривой (12.3.2). ПРИМЕЧАНИЕ 1 — Альтернативный метод определения плотности носителей заряда в эпитаксиальных слоях приведен в методе испытаний F 1392. В этом и родственном методе, DIN 50 439, используется контакт с барьером Шоттки с ртутным зондом, а не изготовленный pn-переход или диод Шоттки. Поэтому измерения по методу испытаний F 1392 и DIN 50 439 не могут быть полностью сопоставимы с измерениями, выполненными по этому методу испытаний. DIN 50 439 применим как к арсениду галлия, так и к кремнию. 1.7 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в 11.8 и 11.14.
ASTM F419-94 Ссылочный документ
ASTM F419-94 История
- 1970 ASTM F419-94
