ASTM F110-00a

Стандартный №

ASTM F110-00a

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F110-00a

сфера применения

1.1 Настоящий метод испытаний охватывает процедуру, подходящую для межлабораторных сравнений толщины слоев. Этот метод испытаний применим для слоев любого удельного сопротивления при условии, что слой отличается от кремниевой подложки под ним либо по типу проводимости, либо по удельному сопротивлению хотя бы на один порядок. Описанный метод является разрушительным по своей природе, но он более широко применим, чем альтернативный инфракрасный метод, метод испытаний F 95. 1.2 Для слоев толщиной от 1 до 25 мкм межлабораторная точность, как определено в Методике E 177, составляет 6(0,15 T + 0,5 мкм) (3S) может быть достигнуто, где T представляет толщину, выраженную в микрометрах. 1.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 8.

ASTM F110-00a Ссылочный документ

• ASTM C28 Стандартные спецификации на гипсовые штукатурки*， 1980-10-26 Обновление
• ASTM C35 Стандартные спецификации на неорганические заполнители для использования в гипсовой штукатурке*， 1995-10-26 Обновление
• ASTM E177 Стандартная практика использования терминов «точность» и «предвзятость» в методах испытаний ASTM*， 1990-10-26 Обновление
• ASTM F42 Стандартные методы испытаний типа проводимости внешних полупроводниковых материалов*， 1993-10-26 Обновление
• ASTM F95 

ASTM F110-00a История

• 1970 ASTM F110-00a