ASTM F95-89(2000)

Стандартный №

ASTM F95-89(2000)

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F95-89(2000)

сфера применения

1.1 Этот метод испытаний2 представляет собой методику измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния, нанесенных на кремниевые подложки. Используют дисперсионный инфракрасный спектрофотометр. Для этого измерения удельное сопротивление подложки должно быть менее 0,02 В·см при 23°C, а удельное сопротивление слоя должно быть больше 0,1 В·см при 23°C. 1.2 Этот метод позволяет измерять толщину слоев как n-, так и p-типа толщиной более 2 мкм. С пониженной точностью этот метод также можно применять к слоям как n-, так и p-типа толщиной от 0,5 до 2 мкм. 1.3 Этот метод испытаний подходит для судейских измерений. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F95-89(2000) Ссылочный документ

• ASTM E177 Стандартная практика использования терминов «точность» и «предвзятость» в методах испытаний ASTM*， 1990-10-26 Обновление
• ASTM E932 Стандартная практика описания и измерения характеристик дисперсионных инфракрасных спектрометров*， 2021-04-01 Обновление
• ASTM F84 

ASTM F95-89(2000) История

• 1970 ASTM F95-89(2000)