ASTM F1725-97
Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства слитков кремния
- Стандартный №
- ASTM F1725-97
- Дата публикации
- 1997
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1725-02
- Последняя версия
- ASTM F1725-02
- сфера применения
- 1.1 Данная практика охватывает анализ кристаллографического совершенства кремниевых слитков. Описанные этапы включают подготовку образцов, выбор и использование травильного раствора, выявление дефектов и подсчет дефектов. 1.2 Этот метод подходит для использования при оценке кремния, выращенного в направлении (111) или (100) и легированного либо p-, либо n-типом с удельным сопротивлением более 0,005 Омега-см. 1.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1725-97 Ссылочный документ
- ASTM D5127 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности*， 1999-11-09 Обновление
- ASTM F1241
- ASTM F1809 Стандартное руководство по выбору и использованию растворов травления для выделения структурных дефектов в кремнии
- ASTM F1810
- ASTM F26
- ASTM F523 Стандартная практика визуального контроля полированных поверхностей кремниевых пластин без посторонней помощи
ASTM F1725-97 История
- 1970 ASTM F1725-02
- 1997 ASTM F1725-97 Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства слитков кремния
