ASTM F1809-97
Стандартное руководство по выбору и использованию растворов травления для выделения структурных дефектов в кремнии
- Стандартный №
- ASTM F1809-97
- Дата публикации
- 1997
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1809-02
- Последняя версия
- ASTM F1809-02
- сфера применения
- 1.1 Настоящее руководство посвящено составлению, выбору и использованию химических растворов, разработанных для выявления структурных дефектов кремниевых пластин. Растворы для травления выявляют дефекты кристаллов, которые отрицательно влияют на производительность схемы и ресурс кремниевых устройств. Подготовка образца, контроль температуры, техника травления и выбор травителя — все это ключевые факторы успешного использования метода травления. В этом руководстве представлена информация о нескольких решениях для травления, и пользователь может сделать выбор в соответствии с потребностями. Дополнительную информацию см. в Приложении X1 и на рис. 1-32. Метод испытаний для подсчета преимущественно протравленных или декорированных поверхностных дефектов кремниевых пластин см. в Методике испытаний F 1810. 1.2 Настоящий стандарт не претендует на рассмотрение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1809-97 Ссылочный документ
- ASTM D5127 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности*， 1999-11-10 Обновление
- ASTM F1725 Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства слитков кремния
- ASTM F1726 Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства кремниевых пластин
- ASTM F1727 Стандартная практика обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
- ASTM F1810
ASTM F1809-97 История
- 1970 ASTM F1809-02
- 1997 ASTM F1809-97 Стандартное руководство по выбору и использованию растворов травления для выделения структурных дефектов в кремнии
