1.1 Этот метод испытаний описывает методику подсчета плотности поверхностных дефектов кремниевых пластин с помощью микроскопического анализа. ПРИМЕЧАНИЕ 1 — Практическое использование метода подсчета дефектов требует допущения, что дефекты распределены по поверхности случайным образом. Если это предположение не выполняется, точность и достоверность этого метода испытаний будут снижены. 1.2 Применение этого метода испытаний ограничено образцами, имеющими отдельные, идентифицируемые дефекты на поверхности кремниевого образца. Типичные образцы преимущественно подвергались травлению согласно Guide F 1809 или эпитаксиальному осаждению, образуя дефекты в структуре кремниевого слоя. 1.3 Толщина и диаметр пластины для этого метода испытаний ограничены только диапазоном доступных движений предметного столика микроскопа. 1.4 Настоящий метод испытаний применим к кремниевым пластинам с плотностью дефектов от 0,01 до 10 000 дефектов на см2. ПРИМЕЧАНИЕ 2 — Коммерчески значимый диапазон плотности дефектов составляет от 0,01 до 10 дефектов на см2, но этот метод испытаний распространяется на более высокие уровни дефектов благодаря улучшенной статистической выборке, полученной при более высоких количествах. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.