ASTM F1366-92(1997)e1
Стандартный метод измерения концентрации кислорода в сильнолегированных кремниевых подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии

Стандартный №

ASTM F1366-92(1997)e1

Дата публикации

1992

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F1366-92(2002)

Последняя версия

ASTM F1366-92(2002)

сфера применения

1.1 Настоящий метод испытаний охватывает определение общей концентрации кислорода в объеме монокристаллических кремниевых подложек с использованием масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС). 1.2 Этот метод испытаний можно использовать для кремния, в котором концентрации легирующих примесей бора, сурьмы, мышьяка и фосфора составляют менее 0,2% (1 х 10 20 атомов/см). Этот метод испытаний особенно применим для кремния, удельное сопротивление которого составляет от 0,0012 до 1,0 омега-см для кремния -типа и от 0,008 до 0,2 омега-см для кремния -типа. 1.3 Этот метод испытаний можно использовать для кремния, в котором содержание кислорода превышает кислородный фон прибора SIMS, измеренный в образце кремния с плавающей зоной, но метод испытаний имеет полезную точность, особенно когда содержание кислорода намного выше (приблизительно в 10 раз). до 20X), чем измеренный кислородный фон в кремнии флоат-зоны. 1.4 Этот метод испытаний дополняет инфракрасную абсорбционную спектроскопию, которую можно использовать для измерения содержания межузельного кислорода в кремнии, удельное сопротивление которого превышает 1,0 омега-см для кремния -типа и более 0,1 омега-см для кремния -типа. (см. метод испытаний F1188). Измерение инфракрасного поглощения может быть расширено до диапазона от 0,02 до 0,1 омега-см для кремния -типа с небольшими изменениями в процедуре измерения. 1.5 В принципе можно использовать разные поверхности образцов, но оценка прецизионности бралась по данным химико-механической полировки поверхностей. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1366-92(1997)e1 Ссылочный документ

• ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса*， 2000-10-10 Обновление
• ASTM F1188 
• ASTM F43 
• ASTM F723 

ASTM F1366-92(1997)e1 История

• 1970 ASTM F1366-92(2002)
• 1992 ASTM F1366-92(1997)e1 Стандартный метод измерения концентрации кислорода в сильнолегированных кремниевых подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии