ASTM F1366-92(2002)

Стандартный №

ASTM F1366-92(2002)

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F1366-92(2002)

сфера применения

1.1 Настоящий метод испытаний охватывает определение общей концентрации кислорода в объеме монокристаллических кремниевых подложек с использованием масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС). 1.2 Этот метод испытаний можно использовать для кремния, в котором концентрации легирующих примесей бора, сурьмы, мышьяка и фосфора составляют менее 0,2 % (1 3 1020 атомов/см3) (см. Метод испытаний F 723). Этот метод испытаний особенно применим для кремния, сопротивление которого составляет от 0,0012 до 1,0 В·см для кремния p-типа и от 0,008 до 0,2 В·см для кремния n-типа (см. Методы испытаний F 43). 1.3 Этот метод испытаний можно использовать для кремния, в котором содержание кислорода превышает кислородный фон прибора SIMS, измеренный в образце кремния с плавающей зоной, но этот метод испытаний имеет полезную точность, особенно когда содержание кислорода намного выше (приблизительно 103). до 203), чем измеренный кислородный фон в кремнии флоат-зоны. 1.4 Этот метод испытаний дополняет инфракрасную абсорбционную спектроскопию, которую можно использовать для измерения межузельного кислорода в кремнии, удельное сопротивление которого превышает 1,0 В·см для кремния p-типа и более 0,1 В·см для кремния n-типа (см. Метод испытаний F 1188). Измерение инфракрасного поглощения может быть расширено до 0,02–0,1 В·см для кремния n-типа с небольшими изменениями в процедуре измерения.2 1,5 В принципе можно использовать разные поверхности образцов, но оценка точности была взята из данных по химико-механическим полированные поверхности. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1366-92(2002) Ссылочный документ

• ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса*， 2000-10-10 Обновление
• ASTM F1188 
• ASTM F43 
• ASTM F723 

ASTM F1366-92(2002) История

• 1970 ASTM F1366-92(2002)
• 1992 ASTM F1366-92(1997)e1 Стандартный метод измерения концентрации кислорода в сильнолегированных кремниевых подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии