ASTM F1188-02

Стандартный №

ASTM F1188-02

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F1188-02

сфера применения

1.1 Настоящий метод испытаний охватывает определение содержания межузельного кислорода в монокристаллическом кремнии путем измерения полосы инфракрасного поглощения при комнатной температуре. Этот метод испытаний требует использования эталонного образца, не содержащего кислорода. Чтобы уменьшить погрешность, для калибровки спектрофотометра рекомендуется использовать эталонный материал, такой как NIST SRM4 25515, другой сертифицированный эталонный материал для определения содержания кислорода в кремнии7 или эталонные материалы, прослеживаемые до CRM. 1.2 Этот метод испытаний требует использования компьютеризированного спектрофотометра, предпочтительно ИК-Фурье-спектрофотометра. Этот метод включен во многие современные ИК-Фурье приборы. 1.3. Полезный диапазон концентрации кислорода, измеряемый с помощью этого метода испытаний, составляет от 1 3 1016 атомов/см3 до максимального количества межузельного кислорода, растворимого в кремнии. 1.4 Если спектрофотометр калибруется с использованием CRM толщиной 2 мм с двухсторонней полировкой, этот метод испытаний пригоден для использования только с образцами толщиной 2 мм с двухсторонней полировкой. Его можно распространить на измерение испытуемых образцов, отполированных с одной или обеих сторон, толщиной от 0,4 до 4 мм с использованием рабочих эталонных материалов, соответствующих CRM. 1.5 Концентрация кислорода, полученная с помощью этого метода испытаний, предполагает линейную зависимость между концентрацией межузельного кислорода и коэффициентом поглощения полосы 1107 см-1, связанной с межузельным кислородом в кремнии. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1188-02 Ссылочный документ

• ASTM E1 Стандартные спецификации для термометров ASTM*， 1998-10-26 Обновление
• ASTM E131 Стандартные определения терминов и символов, относящихся к молекулярной спектроскопии*， 1981-10-26 Обновление
• ASTM E932 Стандартная практика описания и измерения характеристик дисперсионных инфракрасных спектрометров*， 2021-04-01 Обновление
• ASTM F121 

ASTM F1188-02 История

• 1970 ASTM F1188-02
• 2000 ASTM F1188-00 Стандартный метод определения содержания межузельного атомарного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения