ASTM F1188-00
Стандартный метод определения содержания межузельного атомарного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения
- Стандартный №
- ASTM F1188-00
- Дата публикации
- 2000
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1188-02
- Последняя версия
- ASTM F1188-02
- сфера применения
- 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает определение содержания межузельного кислорода в монокристаллическом кремнии методом инфракрасной спектроскопии. Этот метод испытаний требует использования бескислородного эталонного образца и набора калибровочных стандартов, таких как стандарты NIST SRM 2551. Он допускает, но не требует использования компьютеризированного спектрофотометра. 1.2 Полезный диапазон концентрации кислорода, измеряемый с помощью этого метода испытаний, составляет от 1 X 1016 атомов/см3 до максимального количества межузельного кислорода, растворимого в кремнии. 1.3 Концентрация кислорода, полученная с помощью этого метода испытаний, предполагает линейную зависимость между концентрацией межузельного кислорода и коэффициентом поглощения полосы 1107 см-1, связанной с межузельным кислородом в кремнии. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1188-00 Ссылочный документ
- ASTM E1 Стандартные спецификации для термометров ASTM
- ASTM E131 Стандартные определения терминов и символов, относящихся к молекулярной спектроскопии
- ASTM E932 Стандартная практика описания и измерения характеристик дисперсионных инфракрасных спектрометров
ASTM F1188-00 История
- 1970 ASTM F1188-02
- 2000 ASTM F1188-00 Стандартный метод определения содержания межузельного атомарного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения
