GB/T 14146-2021
Метод определения концентрации носителей заряда в эпитаксиальных слоях кремния — вольт-емкостный метод. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 14146-2021

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2021

Разместил

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

Последняя версия

GB/T 14146-2021

заменять

GB/T 14146-2009

сфера применения

В настоящем документе определен метод измерения концентрации носителей заряда эпитаксиального слоя кремния вольт-емкостным методом, в том числе ртутный зондовый вольт-емкостный метод и бесконтактный вольт-фарадный метод. Этот документ применим к испытанию концентрации носителей однородного эпитаксиального слоя кремния, диапазон испытаний составляет 4×1013 см-3 ~8×1016 см-3, где толщина эпитаксиального слоя кремния более чем в два раза превышает глубина обедненного слоя под испытательным смещением. раз. Испытание концентрации носителей полированных монокристаллических пластин кремния и гомогенных эпитаксиальных пластин карбида кремния также можно сослаться на этот документ, а бесконтактный вольт-фарадный метод не подходит для испытания концентрации носителей гомогенных эпитаксиальных пластин карбида кремния.

GB/T 14146-2021 Ссылочный документ

• GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
• GB/T 14847 Метод определения толщины эпитаксиальных слоев легколегированного кремния на подложках из сильнолегированного кремния методом отражения инфракрасного излучения
• GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов
• GB/T 1551 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния — метод линейного четырехточечного зонда и метод двухточечного зонда постоянного тока.
• GB/T 6624 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля

GB/T 14146-2021 История

• 2021 GB/T 14146-2021 Метод определения концентрации носителей заряда в эпитаксиальных слоях кремния — вольт-емкостный метод.
• 2009 GB/T 14146-2009 Эпитаксиальные слои кремния-определение концентрации носителей-напряжения ртутного зонда-емкостный метод
• 1993 GB/T 14146-1993 Эпитаксиальные слои кремния. Определение концентрации носителей заряда. Ртутный зонд. Вальтажно-емкостный метод.