GB/T 14146-1993
Эпитаксиальные слои кремния. Определение концентрации носителей заряда. Ртутный зонд. Вальтажно-емкостный метод. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 14146-1993
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1993
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-06
- быть заменен
- GB/T 14146-2009
- Последняя версия
- GB/T 14146-2021
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод измерения напряжения-емкости ртутным зондом концентрации носителей заряда эпитаксиального слоя кремния. Настоящий стандарт применим для измерения концентрации носителей заряда в однородном эпитаксиальном слое кремния. Диапазон измерения составляет 1013～1018см-3.
GB/T 14146-1993 История
- 2021 GB/T 14146-2021 Метод определения концентрации носителей заряда в эпитаксиальных слоях кремния — вольт-емкостный метод.
- 2009 GB/T 14146-2009 Эпитаксиальные слои кремния-определение концентрации носителей-напряжения ртутного зонда-емкостный метод
- 1993 GB/T 14146-1993 Эпитаксиальные слои кремния. Определение концентрации носителей заряда. Ртутный зонд. Вальтажно-емкостный метод.
