GB/T 14146-2009
Эпитаксиальные слои кремния-определение концентрации носителей-напряжения ртутного зонда-емкостный метод (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 14146-2009
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2021-12
- быть заменен
- GB/T 14146-2021
- Последняя версия
- GB/T 14146-2021
- заменять
- GB/T 14146-1993
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод измерения напряжения-емкости ртутным зондом концентрации носителей заряда эпитаксиального слоя кремния. Настоящий стандарт применим для измерения концентрации носителей заряда в однородном эпитаксиальном слое кремния. Диапазон измерения: 4×10 см~8×10 см. Толщина эпитаксиального слоя кремния, испытываемого по этому стандарту, должна быть больше, чем глубина обеднения при испытательном смещении. Этот стандарт также применим к измерению концентрации носителей заряда на полированных кремниевых пластинах.
GB/T 14146-2009 Ссылочный документ
- GB/T 14847-1993 Метод определения толщины эктаксиальных слоев легколегированного кремния на подложках из сильнолегированного кремния по коэффициенту отражения инфракрасного излучения
- GB/T 1550-1997 Стандартные методы измерения типа проводимости примесных полупроводниковых материалов
- GB/T 1552-1995 Методика измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния и германия коллинеарной четырехзондовой решеткой
GB/T 14146-2009 История
- 2021 GB/T 14146-2021 Метод определения концентрации носителей заряда в эпитаксиальных слоях кремния — вольт-емкостный метод.
- 2009 GB/T 14146-2009 Эпитаксиальные слои кремния-определение концентрации носителей-напряжения ртутного зонда-емкостный метод
- 1993 GB/T 14146-1993 Эпитаксиальные слои кремния. Определение концентрации носителей заряда. Ртутный зонд. Вальтажно-емкостный метод.
