GB/T 14847-1993
Метод определения толщины эктаксиальных слоев легколегированного кремния на подложках из сильнолегированного кремния по коэффициенту отражения инфракрасного излучения (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 14847-1993
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1993
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2011-10
- быть заменен
- GB/T 14847-2010
- Последняя версия
- GB/T 14847-2010
- сфера применения
- Этот стандарт определяет метод измерения коэффициента отражения инфракрасного излучения для толщины эпитаксиального слоя легколегированного кремния на сильнолегированной подложке. Настоящий стандарт применим к измерению толщины эпитаксиального слоя кремния, удельное сопротивление подложки при комнатной температуре менее 0,02 Ом·см, а удельное сопротивление эпитаксиального слоя при комнатной температуре превышает 0,1 Ом·см, а толщина эпитаксиальный слой превышает 2 мкм.
GB/T 14847-1993 История
- 2011 GB/T 14847-2010 Метод определения толщины эпитаксиальных слоев легколегированного кремния на подложках из сильнолегированного кремния методом отражения инфракрасного излучения
- 1993 GB/T 14847-1993 Метод определения толщины эктаксиальных слоев легколегированного кремния на подложках из сильнолегированного кремния по коэффициенту отражения инфракрасного излучения
