ASTM E2735-14(2020)
Стандартное руководство по выбору калибровок, необходимых для экспериментов по рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS)

Стандартный №

ASTM E2735-14(2020)

Дата публикации

2020

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM E2735-14(2020)

сфера применения

1.1 В этом руководстве описан подход, позволяющий пользователям и аналитикам определять калибровки и стандарты, полезные для получения значимых данных о химии поверхности с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS), а также оптимизировать прибор для конкретных целей анализа и времени сбора данных. 1.2 Настоящее руководство предлагает организованный сбор информации или ряд вариантов и не рекомендует какой-либо конкретный образ действий. Настоящее руководство не может заменить образование или опыт и должно использоваться в сочетании с профессиональным суждением. Не все аспекты настоящего руководства применимы при любых обстоятельствах. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.4 Этот стандарт не предназначен для представления или замены стандарта, по которому должна оцениваться адекватность конкретной профессиональной услуги, и этот документ не должен применяться без учета многих уникальных аспектов проекта. Слово «Стандарт» в названии этого документа означает только то, что документ был одобрен в рамках процесса консенсуса ASTM. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности, охраны труда и окружающей среды, а также определение применимости нормативных ограничений перед использованием. 1.6 Настоящий международный стандарт был разработан в соответствии с международно признанными принципами стандартизации, установленными в Решении о принципах разработки международных стандартов, руководств и рекомендаций, выпущенном Комитетом Всемирной торговой организации по техническим барьерам в торговле (ТБТ).

ASTM E2735-14(2020) Ссылочный документ

• ASTM E1078 Стандартное руководство по процедурам подготовки и крепления образцов при анализе поверхности
• ASTM E1127 Стандартное руководство по профилированию глубины в электронной оже-спектроскопии
• ASTM E1217 Стандартная практика определения площади образца, вносящей вклад в детектируемый сигнал, в электронных оже-спектрометрах и некоторых рентгеновских фотоэлектронных спектрометрах
• ASTM E1523 Стандартное руководство по методам контроля заряда и привязки заряда в рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
• ASTM E1577 Стандартное руководство по составлению отчетов о параметрах ионного пучка, используемых при анализе поверхности
• ASTM E1634 Стандартное руководство по измерению глубины кратера распыления
• ASTM E1636 Стандартная практика аналитического описания данных о профиле глубины распыления с помощью расширенной логистической функции
• ASTM E1829 Стандартное руководство по обращению с образцами перед анализом поверхности
• ASTM E2108 Стандартная практика калибровки шкалы энергии связи электронов рентгеновского фотоэлектронного спектрометра
• ASTM E995 Стандартное руководство по методам вычитания фона в электронной оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
• ASTM E996 Стандартная практика представления данных в электронной оже-спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
• ISO 10810 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Руководство по анализу.
• ISO 14606 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.*， 2022-11-21 Обновление
• ISO 14701 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Измерение толщины оксида кремния.
• ISO 14976 Формат передачи данных химического анализа поверхности Техническое исправление 1
• ISO 15470 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Описание выбранных параметров работы прибора.
• ISO 15472 Химический анализ поверхности - Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры - Калибровка энергетических шкал
• ISO 18115-1 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.*， 2023-06-01 Обновление
• ISO 18115-2 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 2. Термины, используемые в сканирующей зондовой микроскопии.*， 2021-12-21 Обновление
• ISO 18116 Химический анализ поверхности. Рекомендации по подготовке и креплению образцов для анализа
• ISO 18117  Химический анализ поверхности. Обращение с образцами перед анализом.
• ISO 18118 Химический анализ поверхности - Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия - Руководство по использованию экспериментально определенных коэффициентов относительной чувствительности для количественного анализа однородных материалов.
• ISO 18516 Химический анализ поверхности. Определение поперечного разрешения и резкости лучевыми методами в диапазоне от нанометров до микрометров.
• ISO 19318 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Отчет о методах, используемых для контроля заряда и коррекции заряда.*， 2021-05-31 Обновление
• ISO 20903 Химический анализ поверхности. Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Методы, используемые для определения интенсивностей пиков, и информация, необходимая для представления результатов.
• ISO 21270  Химический анализ поверхности. Рентгеновские фотоэлектронные и электронные оже-спектрометры. Линейность шкалы интенсивности.
• ISO 24237  Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Повторяемость и постоянство шкалы интенсивности.
• ISO/TR 15969 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Измерение глубины распыления.*， 2021-03-17 Обновление
• ISO/TR 18392 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Методы определения фона.
• ISO/TR 19319 Химический анализ поверхности. Фундаментальные подходы к определению латерального разрешения и резкости в лучевых методах.

ASTM E2735-14(2020) История

• 2020 ASTM E2735-14(2020) Стандартное руководство по выбору калибровок, необходимых для экспериментов по рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS)
• 2014 ASTM E2735-14 Стандартное руководство по выбору калибровок, необходимых для рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии 40;XPS41; Эксперименты
• 2013 ASTM E2735-13 Стандартное руководство по выбору калибровок, необходимых для экспериментов по рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS)