ISO 14701:2018
Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Измерение толщины оксида кремния.

Стандартный №

ISO 14701:2018

Дата публикации

2018

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 14701:2018

сфера применения

В этом документе определены несколько методов измерения толщины оксида на поверхностях кремниевых пластин (100) и (111) как эквивалентной толщины диоксида кремния при измерении с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Он применим только к плоским, полированным образцам и к приборам, которые включают в себя источник рентгеновского излучения из алюминия или магния, предметный столик, позволяющий определять углы эмиссии фотоэлектронов, и спектрометр с входной линзой, угол конуса которой может быть ограничен менее 6°. полуугол. Для термических оксидов толщиной от 1 до 8 нм при использовании наилучшего метода, описанного в этом документе, неопределенности при уровне достоверности 95 % обычно могут составлять около 2 % и около 1 % в оптимальном случае. Также представлен более простой метод с несколько меньшей, но зачастую адекватной неопределенностью.

ISO 14701:2018 Ссылочный документ

• ISO 18115-1 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.*， 2023-06-01 Обновление

ISO 14701:2018 История

• 2018 ISO 14701:2018 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Измерение толщины оксида кремния.
• 2011 ISO 14701:2011 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Измерение толщины оксида кремния.