ISO 14606:2022 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.
International Organization for Standardization (ISO)
Последняя версия
ISO 14606:2022
сфера применения
В этом документе приведены рекомендации и требования по оптимизации параметров профиля глубины распыления с использованием соответствующих однослойных и многослойных эталонных материалов для достижения оптимального разрешения по глубине в зависимости от настроек прибора в электронной оже-спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и вторичной спектроскопии. ионная масс-спектрометрия. В этом документе не рассматривается использование специальных многослойных систем, таких как дельта-легированные слои.
ISO 14606:2022 Ссылочный документ
ISO 18115-1 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.*, 2023-06-01 Обновление
ISO 14606:2022 История
2022ISO 14606:2022 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.
2015ISO 14606:2015 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.
2000ISO 14606:2000 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.