ASTM E2108-16
Стандартная практика калибровки шкалы энергии связи электронов рентгеновского фотоэлектронного спектрометра

Стандартный №

ASTM E2108-16

Дата публикации

2016

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM E2108-16

сфера применения

1.1 В настоящем стандарте описана процедура калибровки шкалы энергии связи электронов (BE) рентгеновского фотоэлектронного спектрометра, который будет использоваться для проведения спектроскопического анализа фотоэлектронов, возбужденных немонохроматированным алюминием или магнием Kα рентгеновскими лучами или монохроматированным алюминием Kα. Рентгеновские снимки. 1.2 Калибровка шкалы BE рекомендуется после установки прибора или его существенной модификации. Дополнительные проверки и, при необходимости, повторные калибровки рекомендуются с интервалами, выбранными для обеспечения того, чтобы статистически маловероятно, что измерения BE будут выполнены с неопределенностью, превышающей предел допуска, указанный аналитиком, на основе стабильности прибора и потребностей аналитика. Предоставляется информация, с помощью которой аналитик может выбрать соответствующий предел допуска для измерений BE и частоту проверок калибровки. 1.3 Эта практика основана на предположении, что шкала BE спектрометра достаточно близка к линейной, чтобы обеспечить возможность калибровки путем измерений эталонных фотоэлектронных линий, имеющих BE вблизи крайних значений рабочей шкалы BE. В большинстве коммерческих приборов используются источники рентгеновского излучения с алюминиевыми или магниевыми анодами, и обычно измеряются БЭ как минимум в диапазоне 0–1200 эВ. Эту практику можно использовать для диапазона ЭЭ от 0 до 1040 эВ. 1.4. Предположение о линейности шкалы БЭ проверяют измерением с помощью эталонной фотоэлектронной линии или линии оже-электронов, появляющейся в промежуточном положении. Однократная проверка является необходимым, но недостаточным условием установления линейности шкалы BE. Дополнительные проверки можно проводить с указанными эталонными линиями на инструментах, оснащенных источниками рентгеновского излучения из магния или немонохромного алюминия, с вторичными стандартами BE или следуя процедурам изготовителя инструментов. Отклонения от линейности шкалы BE могут возникать из-за механических рассогласований, чрезмерных магнитных полей в зоне анализатора или несовершенства или неисправности источников питания. Эта практика не проверяет и не выявляет проблемы такого типа, а просто проверяет линейность шкалы BE. 1.5 После первоначальной проверки линейности шкалы BE и измерения стандартного отклонения повторяемости основных калибровочных линий для конкретного прибора приведена упрощенная процедура для плановых проверок калибровки в последующие разы. 1.6 Данная методика рекомендуется для использования с рентгеновскими фотоэлектронными спектрометрами, работающими в режиме постоянной энергии или фиксированного пропускания анализатора и для которых энергия пропускания составляет менее 200 эВ; в противном случае, в зависимости от конфигурации прибора, для калибровки может потребоваться релятивистское уравнение. Эту практику не следует использовать для приборов, работающих в режиме постоянного коэффициента запаздывания при коэффициенте запаздывания менее 10, для приборов с энергетическим разрешением выше 1,5 эВ или в приложениях, для которых желательны измерения BE с пределами допуска 60,03 эВ или меньше. 1.7 На приборах, оснащенных монохромным алюминиевым источником рентгеновского излучения Kα, при желании можно использовать измерение положения заданной линии оже-электронов для определения средней энергии рентгеновских лучей, падающих на образец. Эта информация необходима для определения модифицированных параметров оже. 1.8 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.9 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Это 1 Эта практика находится в ведении комитета ASTM E42 по анализу поверхности и является прямой ответственностью подкомитета E42.03 по электронной оже-спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Текущая редакция утверждена 1 ноября 2016 г. Опубликована в декабре 2016 г. Первоначально утверждена в 2000 г. Последняя предыдущая редакция утверждена в 2010 г. как E2108–10. DOI: 10.1520/E2108-16. Авторские права © ASTM International, 100 Barr Harbour Drive, PO Box C700, West Conshohocken, PA 19428-2959. Соединенные Штаты 1. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер по обеспечению безопасности и гигиены труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM E2108-16 Ссылочный документ

• ASTM E1016 Стандартное руководство по литературе, описывающей свойства электростатических электронных спектрометров
• ASTM E1078 Стандартное руководство по процедурам подготовки и крепления образцов при анализе поверхности
• ASTM E1523 Стандартное руководство по методам контроля заряда и привязки заряда в рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
• ASTM E456  Стандартная терминология, касающаяся качества и статистики
• ASTM E673  Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности
• ASTM E902 Стандартная практика проверки рабочих характеристик рентгеновских фотоэлектронных спектрометров

ASTM E2108-16 История

• 2016 ASTM E2108-16 Стандартная практика калибровки шкалы энергии связи электронов рентгеновского фотоэлектронного спектрометра
• 2010 ASTM E2108-10 Стандартная практика калибровки шкалы энергии связи электронов рентгеновского фотоэлектронного спектрометра
• 2005 ASTM E2108-05 Стандартная практика калибровки шкалы энергии связи электронов рентгеновского фотоэлектронного спектрометра
• 2000 ASTM E2108-00 Стандартная практика калибровки шкалы энергии связи электронов рентгеновского фотоэлектронного спектрометра