ASTM E2245-11
Стандартный метод испытаний для измерения остаточной деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
- Стандартный №
- ASTM E2245-11
- Дата публикации
- 2011
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM E2245-11e1
- Последняя версия
- ASTM E2245-11(2018)
- сфера применения
- Измерения остаточной деформации помогают при проектировании и изготовлении устройств MEMS. Значение остаточной деформации используется при расчете модуля Юнга. 1.1 Этот метод испытаний охватывает процедуру измерения остаточной деформации сжатия в тонких пленках. Это применимо только к пленкам, например, содержащимся в материалах микроэлектромеханических систем (МЭМС), изображения которых можно получить с помощью интерферометра. Измерения неподвижных лучей, соприкасающихся с нижележащим слоем, не принимаются. 1.2 В этом методе испытаний используется бесконтактный оптический интерферометр с возможностью получения наборов топографических трехмерных данных. Это выполняется в лаборатории. 1.3. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E2245-11 Ссылочный документ
- ASTM E2244 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра
- ASTM E2246 Стандартный метод испытаний для измерения градиента деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
- ASTM E2444 Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках
- ASTM E2530 Стандартная практика калибровки Z-увеличения атомно-силового микроскопа на субнанометровых уровнях смещения с использованием моноатомных ступеней Si(111)
ASTM E2245-11 История
- 2018 ASTM E2245-11(2018) Стандартный метод испытаний для измерения остаточной деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
- 2011 ASTM E2245-11e1 Стандартный метод испытаний для измерения остаточной деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
- 2011 ASTM E2245-11 Стандартный метод испытаний для измерения остаточной деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
- 2005 ASTM E2245-05 Стандартный метод испытаний для измерения остаточной деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
- 2002 ASTM E2245-02 Стандартный метод испытаний для измерения остаточной деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
