ASTM E2530-06
Стандартная практика калибровки Z-увеличения атомно-силового микроскопа на субнанометровых уровнях смещения с использованием моноатомных ступеней Si(111)
- Стандартный №
- ASTM E2530-06
- Дата публикации
- 2006
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- 2015-01
- Последняя версия
- ASTM E2530-06
- сфера применения
- Тщательное использование этого метода может привести к получению калиброванного z-увеличения, соответствующего единице длины СИ, с погрешностью (k = 2) примерно 7 % в диапазоне высот примерно 1 нм.1.1 Этот метод охватывает процедуру измерения для калибровки z-шкалы. атомно-силового микроскопа с использованием образцов Si(111) с одноатомной ступенчатой высотой. нанометровый и субнанометровый диапазоны z-смещения. Эти диапазоны измерения необходимы, когда АСМ используется для измерения поверхностей полупроводников, оптических поверхностей и других высокотехнологичных компонентов. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E2530-06 История
- 2006 ASTM E2530-06 Стандартная практика калибровки Z-увеличения атомно-силового микроскопа на субнанометровых уровнях смещения с использованием моноатомных ступеней Si(111)
