4.1. Правильное использование этого метода может привести к калиброванному увеличению с точностью 58201% или выше в диапазоне увеличений от 10 до 50 000X. 4.2. Использование калибровочных образцов, соответствующих международным/национальным стандартам, таким как NIST-SRM 484, при такой практике обеспечит увеличение с точностью выше 58201;% в калиброванном диапазоне рабочих условий. 4.3. Точность калиброванного увеличения или измерений размеров будет хуже, чем точность калибровочного образца, используемого в этой практике. 4.4. Для достижения точности, приближающейся к точности калибровочного образца, этот метод должен применяться при тех же рабочих условиях (ускоряющее напряжение, рабочее расстояние и увеличение), которые использовались для изображения интересующих образцов. 4.5. На каждом предприятии, использующем эту практику, лежит обязанность определить стандартный диапазон увеличения и условия эксплуатации, а также желаемую точность, для которой будет применяться эта практика. Стандартные условия работы должны включать в себя те параметры, которыми может управлять оператор, в том числе: ускоряющее напряжение, рабочее расстояние, увеличение и режим визуализации. 1.1. Данная методика охватывает общие процедуры, необходимые для калибровки увеличения сканирующих электронных микроскопов. Взаимосвязь между истинным увеличением и индикаторным увеличением является сложной функцией условий эксплуатации.2 Следовательно, эту практику необходимо применять к каждому набору стандартных условий эксплуатации, которые будут использоваться. 1.2. Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.3. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E766-14e1 Ссылочный документ
ASTM E177 Стандартная практика использования терминов «точность» и «предвзятость» в методах испытаний ASTM
ASTM E29 Стандартная практика использования значащих цифр в тестовых данных для определения соответствия спецификациям
ASTM E456 Стандартная терминология, касающаяся качества и статистики
ASTM E691 Стандартная практика проведения межлабораторного исследования для определения точности метода испытаний
ASTM E7 Стандартная терминология, относящаяся к металлографии
ASTM E766-14e1 История
2019ASTM E766-14(2019) Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
2014ASTM E766-14e1 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
2014ASTM E766-14 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
1998ASTM E766-98(2008)e1 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
1998ASTM E766-98(2003) Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
1998ASTM E766-98 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа