Правильное использование этой практики может дать калиброванное увеличение с точностью 5% или выше в диапазоне увеличений от 10 до 50 000X. Использование калибровочных образцов, соответствующих международным/национальным стандартам, таким как NIST-SRM 484, при такой практике обеспечит увеличение с точностью более 5 % в калиброванном диапазоне рабочих условий. Точность калиброванного увеличения или измерений размеров будет хуже, чем точность калибровочного образца, используемого в этой практике. Для достижения точности, приближающейся к точности калибровочного образца, эту практику необходимо применять с идентичными условиями эксплуатации (ускоряющее напряжение, рабочее расстояние и увеличение), которые использовались для изображения интересующих образцов. На каждом предприятии, использующем эту практику, лежит обязанность определить стандартный диапазон увеличения и условия эксплуатации, а также желаемую точность, для которой будет применяться эта практика. Стандартные условия эксплуатации должны включать в себя те параметры, которыми может управлять оператор, в том числе: ускоряющее напряжение, рабочее расстояние, увеличение и режим визуализации. 1.1 Данная методика охватывает общие процедуры, необходимые для калибровки увеличения сканирующих электронных микроскопов. Соотношение между истинным увеличением и индикаторным увеличением является сложной функцией условий эксплуатации. Следовательно, эта практика должна применяться к каждому набору стандартных условий эксплуатации, которые будут использоваться. 1.2 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E766-98(2008)e1 История
2019ASTM E766-14(2019) Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
2014ASTM E766-14e1 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
2014ASTM E766-14 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
1998ASTM E766-98(2008)e1 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
1998ASTM E766-98(2003) Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
1998ASTM E766-98 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа