1.1 Данная методика предназначена для калибровки увеличения сканирующих электронных микроскопов (SEM) с использованием калибровочного образца стандартного эталонного материала (SRM)484 Национального института стандартов и технологий (NIST). Поскольку соотношение между истинным увеличением и увеличением, указанным на показаниях СЭМ, может быть разным при разных увеличениях, эту практику следует применять к каждому увеличению, для которого желательно истинное увеличение. 1.2 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E766-98 История
2019ASTM E766-14(2019) Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
2014ASTM E766-14e1 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
2014ASTM E766-14 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
1998ASTM E766-98(2008)e1 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
1998ASTM E766-98(2003) Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
1998ASTM E766-98 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа