Настоящий стандарт определяет требования, методы контроля, правила контроля, знаки, упаковку, транспортировку, хранение, сертификаты качества и заказы на поставку (или контракты) на кремниевые сердечники, используемые при производстве поликремния усовершенствованным методом Сименс. Настоящий стандарт распространяется на кремниевые сердечники, в которых в качестве сырья используется поликремний, которые производят кремниевые слитки методом Чохральского (CZ) и затем обрабатывают их проволочной резкой или методом пьедестала.
YS/T 1061-2015 Ссылочный документ
GB/T 11336 Измерение отклонений от прямолинейности
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов*, 2018-12-28 Обновление
GB/T 1551 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния — метод линейного четырехточечного зонда и метод двухточечного зонда постоянного тока.*, 2021-05-21 Обновление
GB/T 1558 Метод определения содержания замещающего атомного углерода кремния методом инфракрасного поглощения
GB/T 24582 Определение содержания металлических примесей на поверхности поликремния методом масс-спектрометрии с кислотным выщелачиванием и индуктивно-связанной плазмой*, 2023-08-06 Обновление
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)
GB/T 29849 Метод испытаний для измерения поверхностного металлического загрязнения кремниевых материалов, используемых в фотоэлектрических приложениях, методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой
YS/T 1061-2015 История
2015YS/T 1061-2015 Кремниевая сердцевина для поликремния улучшенным методом Сименса