ASTM E986-04(2010)
Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа
- Стандартный №
- ASTM E986-04(2010)
- Дата публикации
- 2004
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM E986-04(2017)
- Последняя версия
- ASTM E986-04(2017)
- сфера применения
- Традиционный тест разрешения СЭМ требует, в качестве первого шага, микрофотографии образца мелких частиц, сделанного при большом увеличении. Оператору необходимо измерить на микрофотографии расстояние между двумя соседними, но отдельными краями. Эти края обычно находятся на расстоянии менее одного миллиметра друг от друга. Качество их изображения часто ниже оптимального и ограничивается соотношением сигнал/шум луча такого малого диаметра и низкого тока. Решение оператора зависит от индивидуальной остроты зрения человека, проводящего измерение, и может значительно варьироваться. Использование этого метода приводит к определению характеристик размера электронного луча с помощью СЭМ, что значительно более воспроизводимо, чем традиционный тест разрешения с использованием образца мелких частиц.1.1 Этот метод обеспечивает воспроизводимые средства, с помощью которых можно определить один аспект работы сканирующего электронного микроскопа (СЭМ). быть охарактеризованы. Разрешение СЭМ зависит от многих факторов, среди которых напряжение и ток электронного луча, аберрации линзы, контрастность образца и взаимодействие оператора, инструмента и материала. Однако разрешение для любого набора условий ограничено размером электронного луча. Этот размер можно определить количественно путем измерения эффективной кажущейся остроты кромок для ряда материалов, два из которых предлагаются. Для этой практики требуется SEM, способный выполнять линии линейного сканирования, например, генерацию сигналов Y-отклонения для предлагаемых материалов. Диапазон увеличения СЭМ, при котором эта практика полезна, составляет от 1000 до 50 000 &#× . Можно попытаться увеличить увеличение, но могут возникнуть трудности с проведением точных измерений. 1.2 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E986-04(2010) Ссылочный документ
- ASTM E7 Стандартная терминология, относящаяся к металлографии
- ASTM E766 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа
ASTM E986-04(2010) История
- 2017 ASTM E986-04(2017) Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа
- 2004 ASTM E986-04(2010) Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа
- 2004 ASTM E986-04 Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа
- 1997 ASTM E986-97 Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа
