1.1 Эта практика обеспечивает воспроизводимые средства, с помощью которых можно охарактеризовать работу сканирующего электронного микроскопа (СЭМ). Эта производительность является мерой сочетания SEM-оператор-материал и количественно определяется путем измерения эффективной «кажущейся остроты края» для ряда материалов, два из которых предлагаются. Для этой практики требуется SEM, способный выполнять трассировку линейного сканирования (например, генерацию сигналов -отклонения) для предлагаемых материалов. Диапазон увеличения РЭМ, при котором эта практика полезна, составляет от 1000 до 200 000 X. 1.2 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E986-97 История
2017ASTM E986-04(2017) Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа
2004ASTM E986-04(2010) Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа
2004ASTM E986-04 Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа
1997ASTM E986-97 Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа