ASTM E986-04(2017)
Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа

Стандартный №

ASTM E986-04(2017)

Дата публикации

2017

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM E986-04(2017)

сфера применения

1.1 Эта практика обеспечивает воспроизводимые средства, с помощью которых можно охарактеризовать один аспект работы сканирующего электронного микроскопа (СЭМ). Разрешение СЭМ зависит от многих факторов, среди которых напряжение и ток электронного луча, аберрации линзы, контрастность образца и взаимодействие оператора, инструмента и материала. Однако разрешение для любого набора условий ограничено размером электронного луча. Этот размер можно определить количественно путем измерения эффективной кажущейся остроты кромок для ряда материалов, два из которых предлагаются. Для этой практики требуется SEM, способный выполнять линии линейного сканирования, например, генерацию сигналов Y-отклонения для предлагаемых материалов. Диапазон увеличения СЭМ, при котором эта практика полезна, составляет от 1000 до 50 000×. Можно попытаться увеличить увеличение, но могут возникнуть трудности с проведением точных измерений. 1.2 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. 1.3 Настоящий международный стандарт был разработан в соответствии с международно признанными принципами стандартизации, установленными в Решении о принципах разработки международных стандартов, руководств и рекомендаций, изданном Комитетом Всемирной торговой организации по техническим барьерам в торговле (ТБТ).

ASTM E986-04(2017) Ссылочный документ

• ASTM E7 Стандартная терминология, относящаяся к металлографии*， 2022-10-01 Обновление
• ASTM E766 Стандартная практика калибровки увеличения сканирующего электронного микроскопа

ASTM E986-04(2017) История

• 2017 ASTM E986-04(2017) Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа
• 2004 ASTM E986-04(2010) Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа
• 2004 ASTM E986-04 Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа
• 1997 ASTM E986-97 Стандартная практика определения размера пучка сканирующего электронного микроскопа