ASTM F1619-95(2000)e1
Стандартный метод измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии с p-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера
- Стандартный №
- ASTM F1619-95(2000)e1
- Дата публикации
- 1995
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- 2003-08
- Последняя версия
- ASTM F1619-95(2000)e1
- сфера применения
- Этот стандарт был передан SEMI (www.semi.org) в мае 2003 года1.1 Этот метод испытаний охватывает определение коэффициента поглощения, обусловленного содержанием межузельного кислорода в коммерческих пластинах монокристаллического кремния, с помощью инфракрасной спектроскопии с преобразованием Фурье (FT-IR). В этом методе испытаний падающее излучение имеет p-поляризацию и падает на испытуемый образец под углом Брюстера, чтобы минимизировать многократные отражения. Примечание 18212; В этом методе испытаний излучение, в котором электрический вектор параллелен плоскости падения, определяется как p-поляризованное излучение. Примечание 28212; Комитет F01 был уведомлен о том, что некоторые аспекты этого метода испытаний могут быть запатентованы. подала заявку корпорация Toshiba Ceramics Corporation. Комитет не занимает никакой позиции в отношении применимости или действительности таких патентов, но просит пользователей этого метода испытаний и других заинтересованных сторон предоставить любую доступную информацию о незапатентованных альтернативах для использования в связи с этим методом испытаний. концентрация межузельного кислорода пропорциональна коэффициенту поглощения полосы поглощения 1107 см1, содержание межузельного кислорода в пластине можно определить непосредственно с использованием независимо определенного калибровочного коэффициента. 1.3 Образец для испытаний представляет собой кремниевую пластину, отполированную с одной стороны, указанного типа. в спецификациях SEMI M1. Передняя поверхность пластины зеркально отполирована, а задняя поверхность может быть разрезана, притерта или протравлена (см. 8.1.1.1). 1.4 Этот метод испытаний применим к кремниевым пластинам с удельным сопротивлением более 5937 см при комнатной температуре. .1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1619-95(2000)e1 Ссылочный документ
ASTM F1619-95(2000)e1 История
- 1995 ASTM F1619-95(2000)e1 Стандартный метод измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии с p-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера
- 1995 ASTM F1619-95(2000) Стандартный метод измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии с p-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера
