ASTM F1619-95(2000)
Стандартный метод измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии с p-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера
- Стандартный №
- ASTM F1619-95(2000)
- Дата публикации
- 1995
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1619-95(2000)e1
- Последняя версия
- ASTM F1619-95(2000)e1
- сфера применения
- 1.1 Этот метод испытаний 2 охватывает определение коэффициента поглощения, обусловленного содержанием межузельного кислорода в коммерческих пластинах монокристаллического кремния, с помощью инфракрасной спектроскопии с преобразованием Фурье (ИК-Фурье). В этом методе испытаний падающее излучение имеет p-поляризацию и падает на испытуемый образец под углом Брюстера, чтобы минимизировать многократные отражения. 3 ПРИМЕЧАНИЕ 1. В данном методе испытаний излучение, в котором электрический вектор параллелен плоскости падения, определяется как p-поляризованное излучение. ПРИМЕЧАНИЕ 2 — Комитет F-1 был проинформирован о том, что некоторые аспекты этого метода испытаний могут быть предметом патентной заявки, поданной Toshiba Ceramics Corporation. 4 Комитет не занимает никакой позиции в отношении применимости или действительности таких патентов, но просит пользователей этого метода испытаний и других заинтересованных сторон предоставить любую доступную информацию о незапатентованных альтернативах для использования в связи с этим методом испытаний. 1.2. Поскольку концентрация межузельного кислорода пропорциональна коэффициенту поглощения полосы поглощения 1107 см-1, содержание межузельного кислорода в пластине можно определить напрямую, используя независимо определенный калибровочный коэффициент. 1.3 Образец для испытаний представляет собой полированную с одной стороны кремниевую пластину типа, указанного в спецификациях SEMI M1. Переднюю поверхность пластины зеркально полируют, а заднюю поверхность можно разрезать, притирать или травить (см. 8.1.1.1). 1.4 Этот метод испытаний применим к кремниевым пластинам с удельным сопротивлением более 5 В·см при комнатной температуре. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1619-95(2000) Ссылочный документ
ASTM F1619-95(2000) История
- 1995 ASTM F1619-95(2000)e1 Стандартный метод измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии с p-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера
- 1995 ASTM F1619-95(2000) Стандартный метод измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии с p-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера
