GB/T 4060-2007
Поликристаллический кремний. Метод исследования. Вакуумная зонная плавка на боре. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 4060-2007
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2007
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2019-06
- быть заменен
- GB/T 4060-2018
- Последняя версия
- GB/T 4060-2018
- заменять
- GB/T 4060-1983
- сфера применения
- Настоящий стандарт распространяется на контроль стержней из поликремния на основе бора, выращенных на поликремнии, нанесенном на кремниевые сердечники. Этот стандарт определяет эффективный диапазон концентрации примесей: 0,002×10～100×10.
GB/T 4060-2007 Ссылочный документ
- GB/T 13389 Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором, фосфором и мышьяком.*， 2014-12-31 Обновление
- GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения*， 2009-10-30 Обновление
- GB/T 1551 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния — метод линейного четырехточечного зонда и метод двухточечного зонда постоянного тока.*， 2021-05-21 Обновление
- GB/T 1554 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления*， 2009-10-30 Обновление
- GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*， 2023-08-06 Обновление
GB/T 4060-2007 История
- 2018 GB/T 4060-2018 Метод определения содержания бора в поликристаллическом кремнии методом зонной вакуумной плавки
- 2007 GB/T 4060-2007 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Вакуумная зонная плавка на боре.
- 1983 GB/T 4060-1983 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Вакуумная зонная плавка на боре.
