Настоящий стандарт применим к кремниевым поликристаллическим стержням, выращенным водородным восстановлением трихлорсилана и тетрахлорида кремния для нанесения поликристаллического кремния на тонкие кремниевые сердцевины.
GB/T 4060-1983 История
2018GB/T 4060-2018 Метод определения содержания бора в поликристаллическом кремнии методом зонной вакуумной плавки
2007GB/T 4060-2007 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Вакуумная зонная плавка на боре.
1983GB/T 4060-1983 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Вакуумная зонная плавка на боре.