GB/T 4059-2007 (Англоязычная версия) Поликристаллический кремний. Метод исследования. Зонная плавка на фосфоре в контролируемой атмосфере.

Стандартный №: GB/T 4059-2007
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2007
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
состояние: быть заменен 2019-11
быть заменен: GB/T 4059-2018
Последняя версия: GB/T 4059-2018
заменять: GB/T 4059-1983

сфера применения: Настоящий стандарт применяется к контролю фосфора на основе поликристаллического кремния на основе стержней, нанесенного на кремниевые сердечники. Эффективный диапазон этого стандарта для определения концентрации примесей: 0,002×10～100×10.

GB/T 4059-2007 Ссылочный документ

GB/T 13389 Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором, фосфором и мышьяком.*， 2014-12-31 Обновление
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения*， 2009-10-30 Обновление
GB/T 1551 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния — метод линейного четырехточечного зонда и метод двухточечного зонда постоянного тока.*， 2021-05-21 Обновление
GB/T 1553 Определение времени жизни неосновных носителей заряда в кремнии и германии методом распада фотопроводимости*， 2023-08-06 Обновление
GB/T 1554 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления*， 2009-10-30 Обновление
GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*， 2023-08-06 Обновление

2018 GB/T 4059-2018 Метод определения содержания фосфора в поликристаллическом кремнии методом зонной плавки в контролируемой атмосфере
2007 GB/T 4059-2007 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Зонная плавка на фосфоре в контролируемой атмосфере.
1983 GB/T 4059-1983 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Зонная плавка на фосфоре в контролируемой атмосфере.