GB/T 4059-1983
Поликристаллический кремний. Метод исследования. Зонная плавка на фосфоре в контролируемой атмосфере. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 4059-1983
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1983
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2008-02
- быть заменен
- GB/T 4059-2007
- Последняя версия
- GB/T 4059-2018
- сфера применения
- Настоящий стандарт применим к кремниевым поликристаллическим стержням, выращенным водородным восстановлением трихлорсилана и тетрахлорида кремния для нанесения поликристаллического кремния на тонкие кремниевые сердцевины. Эффективный диапазон обнаружения концентрации примесей составляет 0,02～20ppba. Удельное сопротивление N-типа находится в диапазоне от 10 до 2000 Ом·См.
GB/T 4059-1983 История
- 2018 GB/T 4059-2018 Метод определения содержания фосфора в поликристаллическом кремнии методом зонной плавки в контролируемой атмосфере
- 2007 GB/T 4059-2007 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Зонная плавка на фосфоре в контролируемой атмосфере.
- 1983 GB/T 4059-1983 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Зонная плавка на фосфоре в контролируемой атмосфере.
