ASTM E2244-11(2018)
Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра

Стандартный №

ASTM E2244-11(2018)

Дата публикации

2018

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM E2244-11(2018)

сфера применения

1.1 Настоящий метод испытаний охватывает процедуру измерения длины в плоскости (включая прогибы) тонких пленок с рисунком. Это применимо только к пленкам, например, содержащимся в материалах микроэлектромеханических систем (МЭМС), изображения которых можно получить с помощью оптического интерферометра, также называемого интерферометрическим микроскопом. 1.2 Существуют и другие способы определения длин в плоскости. Использование расчетных размеров обычно обеспечивает более точные значения длины в плоскости, чем измерения, выполненные с помощью оптического интерферометрического микроскопа. (Интерферометрические измерения обычно более точны, чем измерения, проводимые с помощью оптического микроскопа.) Этот метод испытаний предназначен для использования, когда интерферометрические измерения предпочтительнее использования расчетных размеров (например, при измерении отклонений в плоскости и при измерении длин в непроверенных процесс изготовления). 1.3 В этом методе испытаний используется бесконтактный оптический интерферометрический микроскоп с возможностью получения наборов топографических трехмерных данных. Оно выполняется в лаборатории. 1.4 Максимальная измеряемая длина в плоскости определяется максимальным полем зрения интерферометрического микроскопа при наименьшем увеличении. Минимальное измеренное отклонение определяется расстоянием между пикселями интерферометрического микроскопа при максимальном увеличении. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности, охраны труда и окружающей среды, а также определение применимости нормативных ограничений перед использованием. 1.6 Настоящий международный стандарт был разработан в соответствии с международно признанными принципами стандартизации, установленными в Решении о принципах разработки международных стандартов, руководств и рекомендаций, выпущенном Комитетом Всемирной торговой организации по техническим барьерам в торговле (ТБТ).

ASTM E2244-11(2018) Ссылочный документ

• ASTM E2245 Стандартный метод испытаний для измерения остаточной деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра*， 2023-10-29 Обновление
• ASTM E2246 Стандартный метод испытаний для измерения градиента деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра*， 2023-10-29 Обновление
• ASTM E2444 Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках*， 2023-10-29 Обновление
• ASTM E2530 Стандартная практика калибровки Z-увеличения атомно-силового микроскопа на субнанометровых уровнях смещения с использованием моноатомных ступеней Si(111)*， 2023-10-29 Обновление

ASTM E2244-11(2018) История

• 2018 ASTM E2244-11(2018) Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра
• 2011 ASTM E2244-11e1 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра
• 2011 ASTM E2244-11 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра
• 2005 ASTM E2244-05 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра
• 2002 ASTM E2244-02 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра