Измерения длины в плоскости используются при расчетах таких параметров, как остаточная деформация и модуль Юнга. Измерения отклонения в плоскости необходимы для конкретных испытательных конструкций. Параметры, включая остаточную деформацию, рассчитываются на основе этих измерений отклонения в плоскости. 1.1 Этот метод испытаний охватывает процедуру измерения длины в плоскости (включая прогибы) тонких пленок с рисунком. Это применимо только к пленкам, например, используемым в материалах микроэлектромеханических систем (МЭМС), изображения которых можно получить с помощью оптического интерферометра.1.2 Существуют и другие способы определения длин в плоскости. Использование расчетных размеров обычно обеспечивает более точные значения длины в плоскости, чем измерения, выполненные с помощью оптического интерферометра. (Интерферометрические измерения обычно более точны, чем измерения, проводимые с помощью оптического микроскопа.) Этот метод испытаний предназначен для использования, когда интерферометрические измерения предпочтительнее использования расчетных размеров (например, при измерении отклонений в плоскости и при измерении длин в непроверенных процесс изготовления).1.3 В этом методе испытаний используется бесконтактный оптический интерферометр с возможностью получения наборов топографических трехмерных данных. Выполняется в лаборатории.1.4. Максимальная измеряемая длина в плоскости определяется максимальным полем зрения интерферометра при наименьшем увеличении. Минимальное измеренное отклонение определяется расстоянием между пикселями интерферометра при максимальном увеличении. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E2244-05 История
2018ASTM E2244-11(2018) Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра
2011ASTM E2244-11e1 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра
2011ASTM E2244-11 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра
2005ASTM E2244-05 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра
2002ASTM E2244-02 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра