ASTM F398-92(1997)
Стандартный метод определения концентрации основных носителей заряда в полупроводниках путем измерения волнового числа или длины волны минимума плазменного резонанса
- Стандартный №
- ASTM F398-92(1997)
- Дата публикации
- 1997
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F398-92(2002)
- Последняя версия
- ASTM F398-92(2002)
- сфера применения
- 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает определение волнового числа минимума плазменного резонанса в коэффициенте отражения инфракрасного излучения образца легированного полупроводника, из которого можно получить концентрацию основных носителей заряда. 1.2 Настоящий метод определения минимума волнового числа является неразрушающим и бесконтактным. Он применим к кремнию nand p-типа, арсениду галлия nand p-типа и германию n-типа. 1.3 Этот метод испытаний дает относительные измерения, поскольку связь между волновым числом минимума плазменного резонанса и концентрацией основных носителей носит эмпирический характер. Такие отношения были установлены для нескольких случаев, кратко изложенных в Приложении А1. Эти соотношения основаны на определении минимума плазменного резонанса по методике настоящего метода и определения коэффициента Холла по Методике испытаний Ф 76 (раздел 2) или удельного сопротивления по Методике испытаний Ф 43 или Методу испытаний Ф 84 (раздел 2). по мере необходимости. 1.4 Эти зависимости установлены в диапазоне концентраций основных носителей заряда от 1,5 3 10 18 до 1,5 3 1021 см-3 для кремния n-типа, от 3 3 10 18 до 5 3 1020 для кремния p-типа, от 3 3 1018 до 7 3 10 19 для германия n-типа, от 1,5 3 10 17 до 1 3 1019 для арсенида галлия n-типа и от
ASTM F398-92(1997) Ссылочный документ
- ASTM E275 Стандартная практика описания и измерения характеристик спектрофотометров ультрафиолетового, видимого и ближнего инфракрасного диапазона
- ASTM F42 Стандартные методы испытаний типа проводимости внешних полупроводниковых материалов
- ASTM F43
- ASTM F76 Стандартные методы измерения удельного сопротивления, коэффициента Холла и определения холловской подвижности в монокристаллических полупроводниках
- ASTM F84
ASTM F398-92(1997) История
- 1970 ASTM F398-92(2002)
- 1997 ASTM F398-92(1997) Стандартный метод определения концентрации основных носителей заряда в полупроводниках путем измерения волнового числа или длины волны минимума плазменного резонанса
